고속 스퍼터링 공정 기술 연구

김을수 ,  이건환 ,  권식철

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향

남경훈 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

Sputtering 가공기술의 현황과 미래

구강

한국염색가공학회지

1997 .10

보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

전파기술의 발전과 전망

김태하

기술사

1996 .01

고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발

김종국 ,  이승훈 ,  김창수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

대면적 고효율 스퍼터링 장치의 시장 현황과 기술적 발전 과제

주정훈 ,  안병철

인포메이션 디스플레이

2009 .01

콘크리트산업기술의 현황 및 2000년대의 전망

김무한 ,  최민수

콘크리트학회지

1993 .06

스퍼터링 공정의 아크 저감방법

이용해 ,  고석철

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

건식코팅 기술의 발전과 전망

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

스퍼터링 소스 타겟 효율 향상에 대한 연구

임태균 ,  황병천 ,  정세호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석

현승민 ,  오민섭

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

스퍼터링을 이용한 세라믹 코팅 볼트의 특성 연구

진영구 ,  서현우 ,  김동민

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2017 .10

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향

이상운 ,  신동혁 ,  손영국 외 2명

Current Photovoltaic Research

2020 .03

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

국내 제로에너지빌딩 기술현황 및 전망

성욱주

건축

2017 .03