Study on the properties of Cr_1-xZ_rxN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim ,  SangYul Lee ,  BomSok Kim 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Closed-field unbalanced magnetron sputtering법에 의해 합성된 다이아몬드상 카본막의 구조 및 기계적 특성에 관한 연구

명현식 ,  박용섭 ,  홍병유 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Microstructure and Oxidation Behavior of Nanostructured Ti.Si.B.C.N Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering

Hyundong Kim ,  Sungbo Heo ,  Kyeongsik Ha 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO₃ 박막의 강유전 특성

최우창 ,  최혁환 ,  이명교 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

Mechanical Properties of Al based AlCrN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim ,  SangYul Lee ,  JunHee Hahn

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

T. M. C. P. 강의 부식피로거동에 미치는 염분의 영향에 관한 연구

이상호 ,  한정섭

한국해양공학회지

1993 .12

Low-pressure Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering

Igo ,  Svadkovski ,  Eungsun Byon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced magnetron sputtering) 시스템 개발

강충현 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Thin Film Processing on Polymer Foils by Magnetron Sputtering

Jeon G. Han

한국표면공학회 Workshop

2004 .11

Dependence of the Characteristics of the Lab6 Films on the Dc Magnetron Sputtering Power

Jing Xu ,  Guanghui Min ,  XiaOhua Zhao 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11