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Mechanical and Tribological Properties of Ti–Si–B–C–N Nanocomposite Coatings Deposited by Pulsed Unbalanced Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Ti 완충층 두께에 따른 In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ti 적층박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2015 .01
바이어스 고출력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 세스텀을 사용하여 Ti-Si-N 박막의 미세구조 및 성질에 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
Ti-Al-Si-N 박막 제작을 위한 합금 타겟 제조 및 박막의 기계적 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
The properties of nanocomposite Ti-Al-V-N coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Electrical Properties and Microstructures in Ti Films Deposited by TFT dc Sputtering
한국재료학회지
2016 .01
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용한 3차원 V₂O5@Mo 나노구조물의 제작
한국산학기술학회 논문지
2023 .12
Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced magnetron sputtering) 시스템 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
온도에 따른 Ti 박막 밀착성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Ti-Al-Si-N-O 코팅막의 고온물성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Oxidation of Ti(C,N) Thin Film Deposited on Titanium
한국에너지기후변화학회 학술대회
2017 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용한 3차원 바나듐 옥사이드 나노구조물의 성장
한국산학기술학회 논문지
2022 .09
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
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