Mechanical and Tribological Properties of Ti–Si–B–C–N Nanocomposite Coatings Deposited by Pulsed Unbalanced Magnetron Sputtering

Sungbo Heo ,  Wang Ryeol Kim ,  Jongbae Jeon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering

Rongguang Jin ,  Ji Cheng Ding ,  KwangHo Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Ti 완충층 두께에 따른 In₂O₃/Ti 적층박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  전재현 ,  공태경 외 1명

열처리공학회지

2015 .01

바이어스 고출력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 세스텀을 사용하여 Ti-Si-N 박막의 미세구조 및 성질에 영향

Rongguang Jin ,  Ji ChengDing ,  KwangHo Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Ti-Al-Si-N 박막 제작을 위한 합금 타겟 제조 및 박막의 기계적 특성

이한찬

전기전자재료학회논문지

2016 .01

The properties of nanocomposite Ti-Al-V-N coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target

문경일 ,  이한찬 ,  윤혜원 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Electrical Properties and Microstructures in Ti Films Deposited by TFT dc Sputtering

Han ,  Chang-Suk ,  Jeon 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용한 3차원 V₂O₅@Mo 나노구조물의 제작

이민규 ,  김기출

한국산학기술학회 논문지

2023 .12

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가

전지웅 ,  김정수 ,  유호준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced magnetron sputtering) 시스템 개발

강충현 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

온도에 따른 Ti 박막 밀착성 평가

김정수 ,  전지웅 ,  이영조 외 8명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Ti-Al-Si-N-O 코팅막의 고온물성 평가

허성보 ,  김왕렬

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

Oxidation of Ti(C,N) Thin Film Deposited on Titanium

Yu-Ke Shi ,  Oleh Yaskiv ,  Min Jung Kim 외 1명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2017 .05

RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용한 3차원 바나듐 옥사이드 나노구조물의 성장

이민규 ,  김기출

한국산학기술학회 논문지

2022 .09

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08