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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 및 실험장치
3. 결과 및 검토
4. 결론
참고문헌
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Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
Tin Nitride Thin Films Fabricated by Reactive RF Magnetron Sputtering at Various Nitrogen Gas Ratios
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
반응성 스파터링법에 의해 제조된 TiN 코팅층의 밀착성에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1989 .11
DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
반응성 스트터링에서 방전특성과 TiN 박막의 물성특성의 상관 관계 연구
전기학회논문지
1993 .08
이온 에너지 분석에 의한 Sputter Ion Plating의 동작 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
한국표면공학회지
1997 .06
Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
Characteristics of ITO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering using for Flexible Displays
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO4 박막의 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Reactive DC Magnetron Sputtering으로 제조된 $TiO_2$ 박막의 친수성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
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