DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가

김경원; 이태권; 김호정; 이순영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김경원 (하이닉스반도체 메모리연구소) 이태권 (하이닉스반도체 메모리연구소) 김호정 (하이닉스반도체 메모리연구소) 이순영 (하이닉스반도체 메모리연구소)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2004년도 춘계학술발표대회 및 제6회 신소재 심포지엄

발행연도: 2004.1

수록면: 59 - 59 (1page)

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김경원

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이태권

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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