플라즈마 쉬스 (Sheath) 를 이용한 이온 주입법

조무현

한국표면공학회지

1990 .03

이온유체방정식을 이용한 Plasma Sheath 시변 해석

李昈駿 ,  李海準

전기학회논문지

2007 .12

플라즈마 이온주입에서 쉬스 동역학에 관한 연구

김광훈 ,  조주현 ,  최영욱 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

POLYMER SURFACE MODIFICATION WITH PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION TECHNIQUE

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Junghye Lee 외 4명

한국표면공학회지

1996 .10

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

Plasma Source Ion Implantation 법을 이용한 금속 박막층과 Polyimide 계면 사이에 관한 연구

조본구 ,  이택영 ,  김용진

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Various surface modifications of polymer by ion implantation

김보영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

소형 플라즈마 이온 주입 장치에 의한 표면개질

왕덕현

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2013 .05

이온주입에 의한 Al5202의 표면특성에 관한 연구

김남훈 ,  김남경 ,  김경균

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

Controllability of Dopant Ion Number in Single Ion Implantation

Takehi ,  o Shinada ,  Takeshi Matsukawa 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

금속이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우 ,  김남경 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

압축성 plasma내의 sheath로 쌓인 원주형 도체에 의한 파의 산란 ( Scattering by a perfectly conducting circular cylinder with a sheath immersed in a compressible plasma )

오명

전자공학회지

1977 .09

지뢰탐지를 위한 ECR 플라즈마에서 타깃에 고전압 DC 펄스 인가시 전압-전류 특성 분석

김성봉 ,  이희재 ,  박승일 외 4명

한국표면공학회지

2014 .02

Preparation and Properties of Silicon Containing Diamond-like Carbon Films Deposited by Plasma Source Ion Implantation

Koumei Baba ,  Ru ,  iko Hatada 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

펄스형 방전플라스마 장치에서 반경방향 Current Sheath의 속력

최운상 ,  장준규

한국안광학회지

2008 .09