Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Dependence of the Characteristics of the Lab6 Films on the Dc Magnetron Sputtering Power

Jing Xu ,  Guanghui Min ,  XiaOhua Zhao 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Nucleation Theory

곽호영

대한기계학회지

1982 .02

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Si$O_{2}$/a-Si 핵생성 계면제어에 의한 조대한 다결정 실리콘 박막의 제조

정세진 ,  황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties

Soo-Hyung Seo ,  Chang-Kyun Pa ,  k 외 3명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Comparative study of microstructure and mechanical properties for films with various deposition rate by magnetron sputtering

Kyung H. Nam ,  Yun M. Jung ,  Jeong G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

그림자효과를 이용하여 증착한 구리박막의 구조에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01