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학술저널
저자정보
배창환 (호서대학교 혁신기술경영융합대학원 메카트로닉스공학과) 이주희 (호서대학교 혁신기술경영융합대학원 메카트로닉스공학과) 한창석 (호서대학교 국방과학기술학과)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제22권 제5호
발행연도
2009.1
수록면
275 - 281 (7page)

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The microstructure of copper films prepared by a sputtering apparatus, which was fabricated to enhance the shadowing effect, was investigated by scanning electron microscopy. Black copper films were deposited on copper wires at an Ar pressure of 10 Pa. The black films had an extremely porous structure composed of separated columns. This structure is quite similar to that of black titanium films prepared by cylindrical magnetron sputtering. These results suggest that the porous structure composed of separated columns is easily formed for metal films by enhancing the shadowing effect.
#copper film #shadowing effect #porous structure #cylindrical magnetron sputtering

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