지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.11
- 수록면
- 63 - 70 (8page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문에서는 MEMS 압력 센서의 스마트 센서 시스템을 구현하였다. 피에조 압력센서의 온도 드리프트 문제를 해결하기 위해 외부 환경에 맞춰 시스템이 스스로 발생 오차를 제거하는 보상 알고리즘과 이에 의해 제어되는 프로그래머블한 보정 회로를 제안하였다. 시스템은 신호처리부, 보정 회로, 온도 감지부, 그리고 마이크로프로세서 및 통신부가 SOC으로 구현되었으며, RS-232 인터페이스가 시스템의 모니터링 및 제어를 위해 사용되었다. 구현된 IC의 면적은 4.38 × 3.78 ㎟이며 0.35㎛ CMOS 공정으로 제작되었다. -40 ℃ ~ 150 ℃ 온도 범위에서 50KPa급 MEMS 압력센서의 온도 드리프트 보상 오차는 ±0.48%로 측정되었다. 구현된 시스템의 전력소모는 30.5㎽로 측정되었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 신호 처리부 설계
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. Chatzandroulis / 2000 / A miniature pressure system with a capacitive sensor and a passive telemetry link for use in implantable applications / IEEE Journal of Microelectromechanical Systems 9 (1)
2. [학술지(정기간행물)] - M. Sveda / 2003 / Integrated Smart Sensor Networking Framework for Sensor-Based Appliances / IEEE Sensors Journal 3 (5)
3. [학술지(정기간행물)] - C. H. Wu / 2006 / Fabrication and Testing of Bulk Micromachined Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensors for High Temperature Applications / IEEE Sensors Journal 6 (2)
4. [학술지(정기간행물)] - Paul C. de Jong / 2000 / A High-Temperature Electronic System for Pressure-Transducers / IEEE Trans on Instrumentation and Measurement 49 (2)
5. [학술지(정기간행물)] - P. Melvas / 2003 / A Diode-Based Two-Wire Solution for Temperature- Compensated Piezoresistive Pressure Sensors / IEEE Trans on Electron Devices 50 (2)
2. [학술지(정기간행물)] - M. Sveda / 2003 / Integrated Smart Sensor Networking Framework for Sensor-Based Appliances / IEEE Sensors Journal 3 (5)
3. [학술지(정기간행물)] - C. H. Wu / 2006 / Fabrication and Testing of Bulk Micromachined Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensors for High Temperature Applications / IEEE Sensors Journal 6 (2)
4. [학술지(정기간행물)] - Paul C. de Jong / 2000 / A High-Temperature Electronic System for Pressure-Transducers / IEEE Trans on Instrumentation and Measurement 49 (2)
5. [학술지(정기간행물)] - P. Melvas / 2003 / A Diode-Based Two-Wire Solution for Temperature- Compensated Piezoresistive Pressure Sensors / IEEE Trans on Electron Devices 50 (2)
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
실리콘 저항형 압력센서의 온도 보상에 관한 연구 ( A Study on Temperature Compensation of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor )
전자공학회논문지
1990 .04
-
MEMS 형 가속도센서 온도특성에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .02
-
MEMS 기술을 이용한 온도, 압력, 습도 복합 센서
전자공학회논문지-SD
2005 .11
-
보상용 브릿지를 이용한 압저항형 압력센서의 온도보상 방법 ( Temperature Compensation method of Piezoresistive Pressure Sensor Using Compensating Bridge )
전자공학회논문지-D
1998 .05
-
설비관리용 MEMS센서 및 Smart 센서 기술
한국소음진동공학회 강습회자료집
2008 .03
-
VCO의 온도 특성 보상을 위한 온도 보상 회로의 설계
한국전자파학회논문지
2010 .03
-
온도센서의 비교
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
-
온도센서(Sensor)의 위치와 온도분포
냉동공조기술
1985 .01
-
MEMS 압력센서의 기술 및 산업동향
[ETRI] 전자통신동향분석
2015 .12
-
PC를 이용한 압저항형 압력 센서의 온도보상 ( PC Aided Temperature Compensation of Piezoresistive Pressure Sensor )
전자공학회논문지-A
1991 .07
-
집적화된 실리콘 압력센서용 온도 보상 회로의 설계 ( Design of Temperature Compensation Circuit for Integrated Silicon Pressure Sensor )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
-
광학식 가스센서의 온도계수와 온도보상 알고리즘
한국가스학회 학술대회논문집
2011 .05
-
온도보상형 압력센서의 성능시험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
저 전력 센서를 이용한 MEMS 회로의 구현과 시스템 효율의 진단
전자공학회논문지-SC
2008 .01
-
MEMS 센서 기반 고정밀 기울기 모니터링 시스템 설계
한국정보통신학회논문지
2019 .11
-
초음파 센서를 이용한 거리측정에서 온도보상에 관한 연구 ( A Study on the Temperature Compensation in Distance Measurement Using Ultrasonic Sensors )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
-
온도표준과 온도센서 특성
대한기계학회지
1991 .08
-
고정밀 고속 하이브리드 온 칩 온도센서
한국정보통신학회논문지
2016 .09
-
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
-
MEMS센서를 이용한 공력 데이터 시스템 개발
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2004 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0