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이용수
1. 서론
2. Direct laser lithographic system
3. 각종 첨단 광학부품 제작 결과
4. 결론
참고문헌
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레이저를 이용한 집적광학용 미세패턴 형성기술 개발 ( A mask fabrication method for intergrated optics using laser lithography )
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1986 .01
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1986 .12
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
레이저를 이용한 미소광학부품 제조방법연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
Parametric Study for a Diffraction Optics Fabrication by Using a Direct Laser Lithographic System
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .10
X-Ray Lithography With High Power Laser
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
레이저 직접 노광시스템의 3D lithography를 위한 자동초점시스템 제어
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대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
레이저 및 광학을 이용한 레일 프로파일 측정 기술
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2007 .06
Optics and Vibration
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2012 .11
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반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
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섬유광학(Fiber Optics)
특협
1979 .01
Integrated Optics
한국통신학회 워크샵
1989 .01
Integrated Optics
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
PO/GO 연계기법을 이용한 비행체 RCS 해석
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2013 .11
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