레이저를 이용한 집적광학용 미세패턴 형성기술 개발 ( A mask fabrication method for intergrated optics using laser lithography )

강원구 ,  신상영 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

레이저 노광을 이용한 첨단 광학부품의 제작

이혁교 ,  김동익 ,  홍승기 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

레이저를 이용한 미소광학부품 제조방법연구

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

레이저 및 광학을 이용한 레일 프로파일 측정 기술

정흥채

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

미세 패턴 형성을 위한 위상 반전 마스크 연구 ( Alternating Phase Shift Mask for Sub-0.25 mm Lithography )

김희범 ,  안창남 ,  백기호

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

집적광학 기술 개발 - 집적광학기술과 특수광섬유 개발에 관한 연구의 일부임 - ( Development of Integrated-Optics Technology )

이종창 ,  정영철 ,  한기관 외 2명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

집적광학 기술 개발 - 집적광학기술과 특수광섬유 개발에 관한 연구의 일부임 - ( Development of Integrated-Optics Technology )

이종창 ,  정영철 ,  한기관 외 2명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

섬유광학(Fiber Optics)

박동현

특협

1979 .01

광학 Focus - 레이저(2)

한국표준연구소

광학세계

1990 .01

광학 Focus - 레이저

한국표준연구소

광학세계

1990 .01

대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

Projection Optics , E-Beam과 X-Ray를 이용하는 Fine Line Lithography

권영세

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Synthesis and application of the hybrid mask for soft - lithography

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

3차원 부품 레이저 용접용 스캐너 광학 최적설계

최해운

한국기계가공학회지

2020 .06

0.18um 이하의 미세 Pattern 형성에 대한 Photo Lithography 기술

홍진석 ,  남동석 ,  이중현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

미세패턴 및 접합용 3차원 레이저헤드 설계 및 열분포 해석

예강현 ,  박승규 ,  윤성철 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2016 .04

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

레이저 미세가공 기술

이천

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11