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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
251 - 252 (2page)

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#Scanning microlithography #UV-led

목차

1. 서론
2. LED 기반의 μSL
3. 광경화 레진
4. LED 의 경화특성
5. 결과 및 적용방안
참고문헌

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