미세구조물 제작을 위한 집속이온빔 증착공정의 3차원 시뮬레이션

한진; 이희원; 민병권; 이상조

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한진 이희원 민병권 이상조

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2008.11

수록면: 283 - 284 (2page)

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