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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
335 - 338 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

Analysis of Ion Beam-Solid Interactions for Nano Fabrication
김흥배 ,  G. Hoble 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료
“AMADEUS” Software for Ion Beam Nano Patterning and Characteristics of Nano Fabrication
김흥배 ,  G. Hoble ,  A. Lugstein 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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The shrinking critical dimensions of modern technology place a heavy requirement on optimizing feature shapes at the micro- and nano scale. In addition, the use of ion beams in the nano-scale world is greatly increased by technology development. Especially, Focused Ion Beam (FIB) has a great potential to fabricate the device in nano-scale. Nevertheless, FIB has several limitations, surface swelling in low ion dose regime, precipitation of incident ions, and the re-deposition effect due to the sputtered atoms. In recent years, many approaches and research results show that the re-deposition effect is the most outstanding effect to overcome or reduce in fabrication of micro and nano devices. A 2D string based simulation software AMADEUS-2D (UAUdvanced UMUodeling UaUnd UDUesign UEUnvironment for USUputter Processes) for ion milling and FIB direct fabrication has been developed. It is capable of simulating ion beam sputtering and re-deposition. In this paper, the 2D FIB simulation is demonstrated and the characteristics of ion beam induced direct fabrication is analyzed according to various parameters. Several examples, single pixel, multi scan box region, and re-deposited sidewall formation, are given.
#Ion Milling(이온밀링) #Focused Ion beam(집속이온빔 #Sputtering(스터퍼링) #Re-deposition(재증착) #Simulation(전사묘사) #Nano Fabrication(나노 패터닝)

목차

ABSTRACT
1. INTRODUCTION
2. SIMULATION TECHNIQUE
3. 2D FIB SIMULATIONS
4. CONCLUSION
REFERENCES

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