연성소자용 투명산화물 박막의 기계적 특성 평가

이성훈; 윤정흠; 조상현; 정재혜; 정유정; 이건환

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저자정보: 이성훈 윤정흠 조상현 정재혜 정유정 이건환

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍

발행연도: 2009.5

수록면: 175 - 176 (2page)

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연성 기판을 기초로 하는 플렉서블 디스플레이 등의 연성 소자에 적용되는 TCO, 투습방지막의 기계적특성을 시험하였다. 실제 사용 환경에서의 기계적 특성을 평가하기 위하여 굽힘시험과 인장시험을 적용하였다. PET기판위에 PE-CVD공정으로 성장된 실리콘 산화물(SiO<SUB>x</SUB>) 박 ... 전체 초록 보기

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