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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제11호
발행연도
2016.1
수록면
725 - 728 (4page)

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본 연구에서는 투명전도막이 없는 염료감응형 태양전지의 전극을 위해 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 다양한 두께에 따라 탄소박막을 제작하여 특성을 고찰하였다. 다양한 두께에 따라 제작되어진 탄소 박막은 어떠한 결함이 없는 부드럽고 균일한 표면을 나타내었다. Rms 표면거칠기 값은 탄소박막의 두께가 증가함에 따라 2.25 nm에서 1.0 nm로 감소하였다. 또한 전기적 특성으로써 탄소박막의 비저항 값은 박막의 두께가 증가함에 따라 11.2×10-3 부터 2.28×10-3까지 향상되었다. 결과적으로 탄소박막을 투명전도막 없는 염료감응형 태양전지의 전극으로 적용한 소자의 특성은 탄소박막 전도 특성 변화를 나타내는 박막의 두께에 의존한다.

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