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저자정보
박정민 김재현 (한국기계연구원) 이학주
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 재료 및 파괴부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.4
수록면
180 - 182 (3page)

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Strip bending test is a simple and repeatable method to characterize mechanical properties of freestanding thin films. 3D finite element analysis has revealed that this test method is sensitive to specimen shape, and can lead to unwanted error when performed without care. This study is an experimental verification to the 3D finite element analysis which was previously performed. Two types of Au specimen were fabricated on a Si wafer using MEMS p ... 전체 초록 보기
#Strip bending test(띠굽힘 시험) #Thin film(박막) #Specimen shape(시험편 형상)

목차

Abstract
1. 서론
2. 띠굽힘시험기 개발
3. 금박막의 탄성계수 측정
4. 결론
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