스퍼터링 조건변화에 따른 Ni/Cr/Si 박막의 전기적 특성

李鵬周; 朴球範; 金昞秀; 李德出

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자료유형: 학술저널

저자정보: 李鵬周朴球範金昞秀李德出

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제52P권 제2호

발행연도: 2003.6

수록면: 56 - 60 (5page)

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