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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과 ( Hydrogenation Effects of Low Temperature Poly-Si Thin Film Transistor )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
저온에서 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 대한 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
LPCVD 다결정 실리콘 박막의 성장 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
Off-Current Mechanism of LPCVD Poly-Si Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
LPCVD 법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성 ( The Structural and Electrical Properties of LPCVD Amorphous and Polycrystalline Silicon Film )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
LPCVD법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
수소화를 향상시키기 위한 새로운 구조의 멀티 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지
1997 .10
저온 공정과 고온 공정에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과 연구
전기학회논문지
1996 .11
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