저온 poly - Si TFT의 제조 시 Ion shower Doping 공정 연구

김동민; 박종현; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김동민 박종현 노재상

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집

발행연도: 2003.2

수록면: 135 - 135 (1page)

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