위상 보상된 속도 센서를 이용한 6자유도 능동 방진 시스템의 개발

김용대; 김상유; 박기환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김용대 김상유 박기환 (광주과학기술원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제33권 제11호

발행연도: 2009.11

수록면: 1,347 - 1,352 (6page)

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2009

위상 보상된 속도 센서를 이용한 6자유도 능동 방진 시스템의 개발

김용대 , 김상유 , 박기환 대한기계학회 논문집 A권 2009.11 학술저널

위상 보상된 속도 센서를 이용한 6자유도 능동 방진 시스템의 개발

김용대 , 김상유 , 박기환 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

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Magnetic force driven six degree-of-freedom active vibration isolation system is developed. The velocity sensor using an electromagnetic principle that is commonly used in the vibration control is investigated since its phase lead characteristic causes an instability problem for a low frequency vibration. A lag-type compensator is adopted to reduce the phase lead and the stability test is performed by using a Bode analysis. The performance of the AVIS is validated by comparing with the passive isolation system by using the frequency responses.

#Active Vibration Isolation System(능동 방진 시스템) #Velocity Sensor(속도 센서) #Phase Compensate(위상 보상)

참고문헌 (5)

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1. [학술지(정기간행물)] - Park, S. I. / 1987 / Theories of the Feedback and Vibration Isolation Systems for the Scanning Tunneling Microscope / Rev. Sci. Instrum. 58 (11) : 2004 ~ 2009

2. [학술지(정기간행물)] - Park, K. / 2008 / A Voice Coil Actuator Driven Active Vibration Isolation System Mwithe the Consideration of Flexible Mods / Rev. Sci. Instrum. 79 (6) : 065106 ~

3. [학술대회논문] - 정종규 / 2007 / VCM을 이용한 3차원 나노 형상 측정 시스템 / 대한기계학회 2007 춘계학술대회 : 2223 ~ 2227

4. [학술지(정기간행물)] - 김규용 / / H 제어를 이용한 방진대의 능동제어 / 대한기계학회논문집 A권 20 (10) : 3079 ~ 3094

5. [인터넷자원] - / / www.em4sys.com

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