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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.3
발행연도
2007.3
수록면
124 - 133 (10page)

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Active vibration isolation systems need the following performance specifications which are different from those of existing positioning systems: usage of seismic sensors, strict suppression of phase lead/lag in signal processing for sensors and actuators, excellent control in low frequency range and so on. In consideration of such specifications, a 3-DOF precision stage for vibration isolation is designed and modeled based on the physical characteristics. Then the major parameters such as spring constants and damping coefficients are valued by the system identification method using empirical transfer function. Finite element analysis is used as a verification and simulation tool throughout this research. This paper lays the foundation for the future research on the control of the active vibration isolation system.
#Precision stage(정밀 스테이지) #Vibration isolation(진동 절연) #Modeling(모델링) #System identification(시스템 식별)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 3 자유도 스테이지의 설계
3. 기구학적 모델링 및 모델 축약
4. 시스템 식별 및 연성 고찰
5. 결론
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