Al alloy 공정을 위한 고속 열처리 장치 ( Rapid Thermal Alloy System for Al Alloy )

이동엽 ,  박광서 ,  정진면 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

일정한 파워 분포를 위한 고속열처리 장치의 설계

李東燁 ,  崔晉鎬

전기학회논문지

1997 .06

열처리와 분석을 중심으로

이창성

안전21

2002 .01

열처리유의 특성과 관리 : 열처리 공정에서의 냉각제로서의 열처리유 관리특성과 이상분석 사례

김응기

Lubricants Symposium

2003 .09

고속 열처리 장치를 이용한 Alloy 공정과 Implantation Annealing ( Metal Alloy and Implantation Annealing by Rapid Thermal Processing )

김충기 ,  이동엽 ,  조병진

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

고속 열처리 장치에 의한 Contact 저항과 다이오드 특성

이동엽 ,  박광서 ,  정진면 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

고속 열처리 장치에 의한 Contact 저항과 다이오드 특성 ( Characteristics of Contact Resistance and Diode Using Rapid Thermal Alloy System )

이동엽 ,  박광서 ,  정진면 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

VLSI 제조공정에서의 고속열처리 장치의 응용현황

金忠基 ,  金炅台

전기의세계

1987 .02

진화 연산 알고리즘을 이용한 고속열처리 공정기의 제어기 설계 ( Design of Controller for Rapid Thermal Process using Evolutionary Computation Algorithm )

황민웅 ,  도현민 ,  최진영

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

진화 연산 알고리즘을 이용한 고속열처리 공정기의 제어기 설계

황민웅 ,  도현민 ,  최진영

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1998 .03

고속 열처리 공정에서의 Slip 제거에 관한 연구 ( Slip Elimination in Rapid Thermal Processing )

조병진 ,  최진호 ,  김충기

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

고속 열처리 장치를 이용한 Alloy 공정과 Implantation Annealing ( Matal Alloy and Implantation Annealing by Rapid Thermal Processing )

김충기 ,  이동엽 ,  조병진

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

고속 열처리공정 시스템에서의 웨이퍼 상의 온도분포 추정

이석주 ,  심영태 ,  고택범 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1999 .05

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도의 반복 학습 제어

정영석 ,  이진호 ,  진인식 외 2명

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

전자공학회논문지-D

1997 .10

BS 4360-50D강의 전해열처리에 관한 연구

오세욱 ,  김재철 ,  허정원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1988 .01

열처리기술 지원사업

이구현

기계와 재료

2002 .01

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02