실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법

심영태 ,  이석주 ,  김학배

제어로봇시스템학회 논문지

2000 .09

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도의 반복 학습 제어

정영석 ,  이진호 ,  진인식 외 2명

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

전자공학회논문지-D

1997 .10

고속 열처리 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도 분포 추정 기법 연구

沈映兌 ,  李錫舟 ,  閔丙朝 외 2명

전기학회논문지 D

2000 .02

반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

고속 열처리 공정 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도분포 추정 기법 연구

심영태 ,  구진모 ,  김학배

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )

이혁 ,  유영돈 ,  엄윤용 외 2명

대한기계학회 논문집

1992 .04

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08

웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화

강새별 ,  오혁근 ,  이준식

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

일정한 파워 분포를 위한 고속열처리 장치의 설계

李東燁 ,  崔晉鎬

전기학회논문지

1997 .06

RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구 ( A Study on the Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing Systems )

이상엽 ,  이준하 ,  권오근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

RTP 공정의 온도균일성에 관한 연구

이상엽 ,  이준하 ,  권오근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

알루미늄 열처리공정을 위한 고속 열처리장치의 설계 제작 및 성능평가

李東燁 ,  李英姬

전기학회논문지

1991 .10

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

신경망 기반의 반복학습제어를 이용한 고속 열처리 공정기의 온도 제어

최진영 ,  도현민

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

RTA 시스템에서의 온도제어와 웨이퍼상의 온도분포 Simulation ( Temperature Control and Wafer Temperature Distribution Simulation in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

전자공학회논문지

1988 .06