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이용수
Abstract
1. 서론
2. 설계
3. 제조 공정
4. 시험 및 측정
5. 결론
참고문헌
저자소개
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대한기계학회 논문집 A권
1996 .02
스냅스루 좌굴을 이용한 미소스위치의 설계 , 제작 및 시험 ( Design , Fabrication and Testing of a Microswitch using Snap-Through Buckling Phenomenon )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
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2009 .05
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2009 .10
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Journal of Electrical Engineering & Technology
2007 .06
기판에 인접한 미소거울의 회전 점성감쇠
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2001 .05
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Asia-Pacific Conference on Communications
1997 .01
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대한기계학회 춘추학술대회
2009 .11
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KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2005 .12
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1998 .07
거울
한국지반신소재학회지
2006 .07
Thin Film Micromirror Array 검사 장치의 교정 ( Calibration of a Thin Film Micromirror Array Inspection System )
한국통신학회논문지
1999 .05
A Micromachined Silicon Mirror for Applications to Tunable Optical Switching Device
대한기계학회 기타 간행물
1996 .11
S자형 들보에 의해 지지되는 micromirror의 제작 및 동작특성 분석
전기학회논문지 C
1999 .11
Design and fabrication of a micromirror using silicon bulk micromachining for out-of-plane right angle reflection
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
실리콘 질화막의 잔류 응력에 의한 실리콘 테두리를 지닌 초소형 거울의 변형에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .10
Fabrication of Micromirror Array with Vertical Spring Structure
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
Design and Fabrication of Electrostatic Inkjet Head using Silicon Micromachining Technology
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2008 .06
Single crystalline silicon micyomirror array for data communication applications
한국정보통신설비학회 학술대회
2003 .01
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