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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Design
3. Fabrication
4. Results
5. Conclusion
Acknowledgement
[Reference]
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Design and fabrication of a single crystalline silicon micromirror array for biochip fabrication systems
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
Characteristics measurement of fabricated micromirror array with vertical springs
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
마이크로 미러의 광학적 특성 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
알루미늄 핀-조인트를 사용한 마이크로 미러의 제작과 측정
전기학회논문지 C
2000 .08
스캐닝 마이크로미러를 이용한 거리 측정 시스템
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 논문집 B권
2009 .10
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
LIDAR 시스템 적용을 위한 전자기 구동 마이크로미러의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
Fabrication of a large scanning micromirror array using vertical combdrive actuator
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
다공성 실리콘 반사방지막을 적용한 단결정 실리콘 태양전지에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
전자기 구동 2 축 스캔 마이크로미러 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
벌크 PZT 기반 스캐닝 마이크로 미러의 압전 구동 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
대용량 광 스위치를 위한 2축 자유도 마이크로 미러
전자공학회논문지-SD
2003 .08
반사형 마이크로 미러와 다중모드 광섬유를 이용한 광마이크로폰
전기학회논문지 C
2006 .05
Fabrication of Micromirror Array with Vertical Spring Structure
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
S자형 들보에 의해 지지되는 micromirror의 제작 및 동작특성 분석
전기학회논문지 C
1999 .11
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