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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
1,711 - 1,715 (5page)

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Current electrostatic precipitators (ESPs) for removing fine particles from semiconductor industries have used costly anti-corrosive metallic materials to maintain the particle removal performance. Due to the economical demand of the industries, a novel ESP was developed whose charger was made of carbon fibers and collection plates of PET films in which an aluminum sheet was inserted. The ESP was evaluated by changing applied voltages to chargers and collection plates, flow rates and number of charging channels etc. KCl particles whose mean diameter was 0.1 ㎛ and concentration was 10?~10? #/㎥ were used as test particles and a scanning mobility particle sizer was used to measure changes in particle number concentrations before and after the ESP. The experimental results showed that more than 90 % of particles were removed by the ESP with 9 channels and 65 ㎜ collection plates at 500 CMH when 7 ㎸ and 10 ㎸ were applied to discharge electrodes and collection plates, respectively.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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