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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
2,948 - 2,951 (4page)

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We present a highly reliable thin membrane transducer (TMT) ? based chemo-mechanical sensing platform fabricated with conventional MEMS process. This device is suspended with ultra thin silicon nitride membrane (100 ㎚) , lower electrode. The counter electrode is effectively built up on just one wafer. The cavity side of the membrane is coated with thin gold (30 ㎚) for molecular immobilization and reaction. The microfluidic cells and capacitance to digital convertor (CDC) chip are integrated with the sensor. The chemomechanical sensing device opens up a new horizon for molecular detections with innovations such as no labelling, time course data, and compact design. In the principle of the TMT, a specific molecular interaction on an extremely thin and flexible membrane surface causes the deflection of the membrane due to surface stress change which can be measured by a capacitive circuit.
#Thin membrane transducer(박막 센서) #DNA, Capacitive sensor(정전용량 센서)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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