유동층을 이용한 마이크로 패턴 제작공정에 관한 연구

윤재성; 유영은; 전은채; 최두선; 서재원; 김선경

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤재성 (한국기계연구원) 유영은 전은채 최두선 서재원 김선경

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2009.11

수록면: 3,090 - 3,093 (4page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

A novel fabrication process for micro patterns has been introduced in this paper. The basic principle for fabrication of patterns is the superposition of geometries of micro structures on silicon substrate and those of the layer which is coated on the substrate. Due to the surface tension of the liquid in micro scale, various shapes of meniscus can be made on the micro structures. In this study, micro channels have been made on the silicon substrate in advance, then liquid layer has been coated on the structure. From the nature of liquid behavior, curved patterns with smooth surface have been obtained, which cannot be made easily with the conventional mechanical machining, as well as with the microfabrication processes, such as wet and dry etching.

#Micro pattern(마이크로 패턴) #Liquid layer(유동층) #MEMS(초미세 기계전자 시스템) #Micro channel(마이크로 채널) #Silicon substrate(실리콘 기판)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

윤재성

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 TOP 5% 자연과학 > 물리학 TOP 10%

논문수 486 이용수 34,163

윤재성

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 TOP 5% 자연과학 > 물리학 TOP 10%

논문수 486 이용수 34,163

전은채

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 255 이용수 10,970

Doo-Sun Choi

소속기관 Korea Institute of Machinery & Materials

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 429 이용수 27,384

서재원

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 19 이용수 2,591

김선경

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 122 이용수 10,431

이 논문과 함께 이용한 논문

초음파 성형시 진동전달 방향에 따른 미세패턴의 전사특성 고찰

서영수 , 이기연 , 조영학 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012 .11

정밀 롤금형 가공기의 정적, 동적, 서보제어 강성 해석

김창주 , 오정석 , 송준엽 한국CDE학회 학술발표회 논문집 2013 .08

대면적 미세패턴 롤 금형 가공용 초정밀 롤 선반 개발

오정석 , 송창규 , 황주호 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013 .12

LCD 컬러 필터 Blue 레지스트 패턴의 Undercut 불량 발생에 대한 노광 공정 특성 연구

박상희 , 강민 , 서동영 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .05

기계화학적 연마공정중 패드내 미세공극에서의 연마입자의 거동

곽하슬로미 , 양우열 , 성인하 Tribology and Lubricants 2012 .02

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-019131268

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)