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저널정보
대한전기학회 전기의세계 전기의 세계 제51권 제2호
발행연도
2002.2
수록면
34 - 43 (10page)

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목차

서론
레이저 플라즈마에 의한 EUV 광의 발생기술
방사광을 이용한 EUV 핵심기술 개발
방사광을 이용한 EUVL 핵심기술 개발
정밀 위치제어 시스템
결론
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