지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
생물분야 적용위한 플라즈마 집속장치의 전극별 극자외선 특징 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2006 .07
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속장치의 아르곤 아크 플라스마의 방출 스펙트럼 진단
Applied Science and Convergence Technology
2006 .11
극자외선(Extreme Ultraviolet) 발진을 위한 플라스마 집속장치에서의 Stark broadening을 이용한 전자온도 및 밀도진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
ITO 흡수체를 가지는 극자외선 리소그래피용 감쇠형 위상 변위 마스크의 광학적 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
지구대기감시관측소에서의 최근 EUV-B 관측 결과
Asia-Pacific Journal of Atmospheric Sciences
2005 .06
전자빔 리소그래피를 이용한 광결정 패턴 제작에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
동축전극 구조의 플라스마 집속 장치의 Anode 전극 재질에 따른 EUV (Extreme Ultraviolet) intensity 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Extreme ultraviolet (EUV)measurement and Plasma diagnostics of the coaxial focused plasma in accordance with Argon pressure for EUV light source
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Measurement of EUV (Extreme Ultraviolet) and electron temperature in a hypocycloidal pinch device for EUV lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
한반도 EUV-B 복사의 특성분석 및 적정 비타민D 합성을 위한 노출시간 산출
대기
2011 .03
0