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대한전기학회 전기의세계 전기학회지 제49권 제12호
발행연도
2000.12
수록면
10 - 15 (6page)

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목차

1. 서론
2. MEMS 기술을 이용한 반도체 센서의 국내외 기술 현황
3. MEMS 기술을 이용한 감지/제어기의 기술 발전 방향
4. 결론
참고문헌
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