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하준근 (서울대학교) 전진아 (이화여자대학교) 서정은 (이화여자대학교) 유병욱 (서울대학교) 진주영 (서울대학교) 박일흥 (이화여자대학교) 박재형 (단국대학교) 김용권 (단국대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,559 - 1,560 (2page)

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In this paper, a 2-degree-of-freedom (DOF) Micro-electro-mechanical systems(MEMS) scanning micromirror array is fabricated, which has a large area mirror, a large actuation displacement and high fill factor. Each mirror is designed for independent actuation to two axis. The mirrror is designed as leverage structure in order to achieve large actuation angle with electrostatic actuator. ... 전체 초록 보기

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