Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Monomer based thermally curable resin을 이용한 소프트-리소그래피

양기연 ,  홍성훈 ,  이헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

SERS of nano- Structures fabricated via Interference Lithography

장지현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Sub-50㎚급 나노임프린팅 장비기술 및 응용

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발

이병욱 ,  홍진수 ,  김창교

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

Maskless lithography 및 Electro plating 을 이용한 MEMS probe tip 제작

조용규 ,  조명우 ,  여인규 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fabrication of micro/nano complex grating by light interference lithography

Yong-Cheol Jeong

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰

정준영 ,  이우영 ,  임경화 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

Tip-in/Tip-out 시의 엔진의 동적 거동 해석 ( Dynamic Analysis of Engine Response to Throttle Tip-in/Tip-out )

고강호 ,  국형석

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .11

F⁰ , FeS 와 FeS₂ 에 의한 염소계 화합물의 환원적 분해반응

홍대일 ,  김성국 ,  현병욱 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

2001 .12