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혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
MAS (Mixed Abrasive Slurry)가 Metal CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
세리아 연마제 첨가량에 따른 산화막 CMP 특성 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
SiO₂/CeO₂ 혼합 연마 슬러리가 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
MnO₂ 연마제를 혼합한 Mixed Abraive Slurry (MAS)의 CMP 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
Slurry의 pH가 CMP특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
CMP용 Slurry Particle간의 상호작용에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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