지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
2006
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
MnO₂ 연마제를 혼합한 Mixed Abraive Slurry (MAS)의 CMP 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
Slurry의 pH가 CMP특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
세리아 연마제 첨가량에 따른 산화막 CMP 특성 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
슬러리 분산 및 pH Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
The effects of particle concentration on oxide CMP with mixed abrasive slurry
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
ZrO₂-DSS의 CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
MAS (Mixed Abrasive Slurry)가 Metal CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
연마 입자 크기가 사파이어 CMP에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
0