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이용수
Abstract
1. 서론
2. 구조 및 구동 원리
3. 제작 공정
4. 특성 시험
5. 결론
참고문헌
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실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험
전기학회논문지
1997 .07
마이크로 전자석과 자기변형박막을 이용한 마이크로 액추에이터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
마이크로 펌프의 제작 및 응용에 관한 연구 동향 ( Research Trends in the Fabrication and Applications of Micro-Pumps )
대한기계학회지
1993 .06
다이어프램 방식의 마이크로펌프 설계 및 진동주파수 결정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
P⁺ 박막을 전극으로 한 정전형 마이크로 구동기의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
자기변형재료의 재료특성 시험장치 개발 및 재료의 특성연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
자기변형 분말 나노 접착을 적용한 원격 마이크로 작동기의 제작 및 특성 분석
한국기계기술학회지
2016 .01
정전력을 이용한 마이크로 펌프
전기학회논문지
1994 .12
반구형 유체 챔버를 갖는 마이크로 펌프 제작 및 구동 시험
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
Diaphragm의 내환경검증 시험에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
마이크로 펌프용 정전형 구동기와 수동형 밸브의 제작 ( Fabrication of an Electrostatic Actuator and Passive Valves for Micro-pumps )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
금속 다이어프램을 적용한 극저온 순환 펌프의 설계 및 제작
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .05
마이크로 펌프의 제작 및 응용에 관한 연구동향
전기의세계
1993 .10
열공압형 마이크로펌프의 액추에이터 박막 거동 특성에 관한 실험적 연구
대한기계학회 논문집 B권
2010 .06
역 자기변형성을 이용한 자기 구동기의 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
에폭시 본딩을 이용한 자기변형 박막 작동기의 거동
한국기계기술학회지
2013 .01
압전 작동기를 이용한 마이크로 펌프의 설계 및 제작
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2006 .04
자기 구동기의 역 자기변형성 모델링 및 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
마이크로 펌프 응용을 위한 이온성 고분자-금속 복합체를 이용한 멤브레인형 마이크로 액추에이터 제작에 관한 연구
전기학회논문지 C
2003 .07
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