주름진 박막을 전극으로 한 정전형 미세 구동기의 제작

김성윤 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

마이크로 펌프용 정전형 구동기와 수동형 밸브의 제작 ( Fabrication of an Electrostatic Actuator and Passive Valves for Micro-pumps )

양상식 ,  양의혁 ,  한상우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

마이크로 전극 제작 및 미세 홀 가공

백승엽 ,  이하성 ,  강동명

한국금형공학회 학술대회

2008 .01

정전력을 이용한 마이크로 그리퍼의 설계 및 제작

안동섭 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

Fabrication and Electrostatic Actuation of Thin Diaphragms

E. H. Yang ,  S. S. Yang ,  O. C. Jeong

KSME International Journal

1998 .04

정전력을 이용한 마이크로 펌프

尹龍逵 ,  金容權

전기학회논문지

1994 .12

자기변형 박막을 이용한 마이크로 펌프의 제작과 시험

서지훈 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

추가된 수직전극을 구비한 저전압 구동의 광 스위칭용 정전구동 마이크로 액츄에이터

尹容燮 ,  裵紀德 ,  崔鎣 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .01

점 전극을 이용한 마이크로 전해현상의 고찰

김봉규 ,  박규열

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots

Kwee Bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS

Kwee-bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1988 .10

혼합 마이크로머시닝기술을 이용한 다층전극구조의 정전렌즈 제작 ( Fabrication of multi-layered electrostatic lens by mixed micromachining technology )

이용재 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .09

마이크로 전자석과 자기변형박막을 이용한 마이크로 액추에이터의 제작

서지훈 ,  양상식 ,  정종만 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

평행판 정전구동기를 이용한 광 마이크로스캐너의 설계 및 제작

이성길 ,  김만근 ,  전민호 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

정전형 마이크로 릴레이용 Ni 후막 구조체의 제조공정

이종현 ,  박경호 ,  이용일 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Optimal Valve Design and Fabrication of an Electrostatic Micropump with p+ Diaphragms

Eui Hyeok Yang ,  Sang Sik Yang ,  Eung Jun Pa 외 2명

JOURNAL OF KIEE

1996 .12

펄스 방식 나노 입자 적층 시스템을 이용한 정전 구동기의 제작

송지현 ,  안성훈 ,  윤해성 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

비 선형 요소를 갖는 정전 마이크로 구동기의 외란 관측기에 기초한 디지털 추종 제어기 설계

崔玄澤 ,  徐一弘

전기학회논문지 A

1999 .06

실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험

金永洙 ,  梁翔植

전기학회논문지

1997 .07

주름진 박막을 갖는 평면 코일을 이용한 전자 구동기 제작

정현구 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11