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이용수
Abstract
1. 서론
2. 비등방성 식각의 수행
3. 식각된 {100}면의 표면 상태의 관찰
4. 105˚C, 50mo1% N₂H₄ 수용액하에서의 전기화학적 식각
5. 결론
참고문헌
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전자공학회논문지
1989 .11
Diaphragm을 이용한 광 A / D 변환에 관한 연구 ( A Study on the optical A / D conversion using diaphragm )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
Diaphragm의 내환경검증 시험에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
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한국자동차공학회 지회 학술대회 논문집
2007 .11
Diaphragm Type 실린더 밸브의 해석 및 성능평가 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정 연구 ( Study on the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
수소압축기의 다이어프램 응력과 변형특성에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
복합십자형 다이아프램으로 보강한 각형 CFT 기둥-보 인장측 접합부의 구조성능에 관한 연구
대한건축학회 논문집 - 구조계
2004 .01
Fabrication of Circular Diaphragm for Piezoelectric Acoustic Devices
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2005 .03
부분방전 측정을 위한 Diaphragm 센서 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
유한 요소법을 이용한 자동차용 다이어프램 스프링의 최적설계
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
2003 .11
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대한전자공학회 학술대회
2013 .07
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대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
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대한기계학회 춘추학술대회
2006 .09
Characteristics of Movable Diaphragm of Silicon Micromachined Fabry-Perot Cavity Interferometer
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
2008 .06
Behavior of improved through-diaphragm connection to square tubular column under tensile loading
Structural engineering and mechanics : An international journal
2018 .01
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정을 위한 Microscopy Study ( Microscopy Study for the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
전자공학회논문지-A
1992 .01
감도특성 향상을 위한 국부적 표면식각 다이아프램 구조 연구
센서학회지
2004 .01
이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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