압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH/AP 식각특성

윤의중 ,  김좌연

한국반도체장비학회지

2003 .01

TMAH를 이용한 채널 방향에 따른 실리콘 식각 특성 분석

이기태 ,  이준일 ,  김시현 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2018 .06

A study on the corner compensation in anisotropic TMAH etching for pendulum structure

한규성 ,  이기정 ,  박신욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

펜듈럼 구조체 제작을 위한 TMAH 습식 식각 시 모서리 보상에 관한 연구

한규성 ,  이기정 ,  박신욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH 의 식각특성 연구

김좌연 ,  윤의중 ,  이석태 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Pyrazine에 의한 TMAH / IPA의 이방성 식각특성 개선 ( Improvements of TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics by Pyrazine )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각

조남인 ,  강창민

한국반도체장비학회지

2003 .01

TMAH 습식 식각 기술을 이용한 탄소나노튜브 전계방출 삼극관의 전자방출 특성

최지혜 ,  이기정 ,  Nguyen Tuan Hong 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

전자공학회논문지-SD

2004 .03

Pyrazine이 TMAH/IPA 실리콘 이방성 식각특성에 미치는 영향

鄭貴相 ,  朴珍星

전기학회논문지

1998 .12

Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch

Dae-Gon Kim ,  Sunghyun Yoo ,  Chang-Hyeon Ji 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Low-angle forward-reflected 중성빔 식각장치를 이용한 Si 식각에 관한 연구

민경석 ,  박병재 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

다이어프램 두께제어를 위한 TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법에 관한 연구 ( A Study on Electrochemical Etch-Stop in Aqueous TMAH / IPA / Pyrazine Solution for Diaphragm Thickness Control )

박진성 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1997 .01