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압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH/AP 식각특성
한국반도체장비학회지
2003 .01
TMAH를 이용한 채널 방향에 따른 실리콘 식각 특성 분석
대한전자공학회 학술대회
2018 .06
A study on the corner compensation in anisotropic TMAH etching for pendulum structure
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
펜듈럼 구조체 제작을 위한 TMAH 습식 식각 시 모서리 보상에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
2003 .07
압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH 의 식각특성 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
Pyrazine에 의한 TMAH / IPA의 이방성 식각특성 개선 ( Improvements of TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics by Pyrazine )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각
한국반도체장비학회지
2003 .01
TMAH 습식 식각 기술을 이용한 탄소나노튜브 전계방출 삼극관의 전자방출 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )
전자공학회논문지
1989 .11
압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구
전자공학회논문지-SD
2004 .03
Pyrazine이 TMAH/IPA 실리콘 이방성 식각특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1998 .12
Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )
전자공학회논문지
1987 .01
플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
Low-angle forward-reflected 중성빔 식각장치를 이용한 Si 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
다이어프램 두께제어를 위한 TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법에 관한 연구 ( A Study on Electrochemical Etch-Stop in Aqueous TMAH / IPA / Pyrazine Solution for Diaphragm Thickness Control )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
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