Fabrication of Wedge-shaped Si Tips using Wet Etching Process

박흥우 ,  고창기 ,  하병주 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

습식 식각법을 이용한 실리콘 팁의 제작 ( Fabrication of Si-tip Using Two-Step Etching Method for FED )

박흥우 ,  김성진 ,  주병권 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

2단계 식각법을 이용한 전계방출소자용 실리콘 팁의 제작

박홍우 ,  주병권 ,  김성진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

습식 에칭을 이용한 태양전지용 Multi-Si 웨이퍼 텍스쳐링 기술에 대한 연구

안소희 ,  김기정 ,  문지훈 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

화학식각법에 의해 형성된 다공질실리콘의 표면형상 및 발광특성

김현수 ,  민석기

한국재료학회지

1994 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

단결정 Si 기판의 결정 의존성 식각에 의한 Knife형 Si tip array의 제조

정유호 ,  고창기 ,  김철주 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

나노인덴터와 KOH 습식 식각 기술을 병용한 Si (100) 표면의 마스크리스 패턴 제작 기술

윤성원 ,  신용래 ,  강충길

소성·가공

2003 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Si$_3$N$_4$를 이용한 Co silicided Si FEA의 제작

정진철 ,  김민영 ,  장지근

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

이재복 ,  홍경일 ,  오세훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

습식 에칭 공정에서의 안전관리 자동화에 관한 연구

조재훈 ,  손영득 ,  위상봉

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

Amorphous Si의 제작과 특성

성영권 ,  이병득 ,  민병무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07