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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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RTA처리한 PZT 박막의 강유전 특성
전기학회논문지 C
2000 .04
PZT 강유전 박막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
이온 손상 처리가 PZT 박막의 강유전 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
졸-겔법에 의한 강유전성 PZT박막의 제작
전기학회논문지 P
2002 .06
초고집적 회로용 PZT박막의 형성조건 - 스퍼터링법으로 Si , TiN/Ti/Si 기판위에 증착된 PZT 박막의 급속 열처리에 의한 결정화 및 특성 - ( Formation Conditions of PZT Thin Films for ULSI - A Study on the formation and characteristics of PZT thin films by rapid thermal annealing - )
전자공학회논문지-A
1993 .10
급속열처리법을 사용한 PZT박막의 형성 및 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
결정화된 PZT 박막에 행해진 이온손상처리가 강유전 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
SrRuO3 전극 박막 위에 증착된 PZT 박막의 구조 및 강유전 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
메모리 응용을 위한 PZT 강유전체 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( A Study on the preparation and Properties of Ferroelectric PZT Thin Films for Memory Applications )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
메모리 응용을 위한 PZT 강유전체 박막의 제작과 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
후열처리 조건이 탄탈륨이 첨가된 PZT 박막의 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )
전자공학회논문지-A
1995 .12
PZT박막 Capacitor에 관한 기초연구(I)
한국재료학회지
1993 .01
솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성
전기학회논문지 P
2001 .12
FRAM 소자용 PZT박막의 강유전특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
Cl2/CF4 플라즈마에 Ar, O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과
전기전자재료학회논문지
2002 .01
PZT 박막을 이용한 미세 질량 감지 센서의 제작
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
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