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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제10호
발행연도
2016.1
수록면
620 - 624 (5page)

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도전성 SrRuO3 박막을 하지층으로 사용하여 펄스 레이저 증착법에 의하여 강유전체 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT) 박막을 SrTiO3(100) 기판 위에 성장시켜 결정구조와 강유전 특성에 대하여 연구하였다. PZT 박막은 격자정합성이 잘 맞는 의입방정의 SrRuO3 박막 위에 (00l) 방향으로 성장하였다. PZT 박막의 강유전성 및 전기적 특성의 두께 의존성에 대하여 조사하였다. 두께 400 nm의 PZT 박막은 29.0 µC/cm2의 잔류분극(Pr) 및 83 kV/cm의 항전계(Ec) 를 보였으며, PZT 박막의 두께 감소에 따라 Pr은 감소하였고 Ec는 증가하는 경향을 보였다. 유전율도 PZT 박막의 두께 감소에 따라 점차적으로 감소하였다. PZT 박막의 절연파괴 전계는 박막의 두께와 무관하게 약 1 MV/cm로 거의 유사한 값을 나타내었다.
#Ferroelectric oxide #Pb #Zr0.52Ti0.48)O3 #Pulsed laser deposition #Remanent polarization #Coercive field

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N. Setter / 2006 / J. Appl. Phys 100:051606 Crossref H. Ishiwara / 2012 / J. Nanosci. Nanotechnol 12:7619 Crossref M. Dawber / 2000 / Appl. Phys. Lett 76:1060 Crossref G. Asano / 2003 / Appl. Phys. Lett 83:5506 Crossref Jai-Hyun Kim / 2003 / The Effect of Stoichiometric La$_{1/2}$Sr$_{1/2}$CoO$_3$ as Sputtered Bottom Electrode on SiO$_2$/Si(100) / Journal of the Korean Physical Society 42(IV):1313~1316 google schola

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