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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2000年度 大韓電氣學會 夏季學術大會 論文集 C
발행연도
2000.7
수록면
2,074 - 2,076 (3page)

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2000

에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구
하장호 ,  전용우 ,  신용철 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2000.07 학술대회자료

1999

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
하장호 ,  전용우 ,  송현직 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 1999.11 학술대회자료
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 5명 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 1999.11 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 측정값과 그평가
3. 실험장치
4. 실험결과 및 고찰
3. 결론
[참고문헌]

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이원석 ,  박상현 ,  조준현 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2014 .11

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