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Atmosphere Plasmas of Gas Discharge (APGD) have been used in plasma sources for material processing such as etching, deposition, surface modification, etc. This study is to investigate and understand the fundamental plasma discharge properties. Especially, SF?/N₂ mixed gas would be used in power transformer, GIS (Gas insulated switchgear) and so on. In this paper, we developed a one dimensional fluid simulation model with capacitively coupled plasma chamber at the atmosphere pressure (760 [Torr]). 38 kinds of SF?/N₂ plasma particles which are an electron, two positive ions (SF??, N₂?), five negative ions (SF??, SF??, SF₄?, F₂?, F₁?), thirty excitation and vibrational particles for N₂ were considered in this computation. The N₂ gases of 20%, 50%, 80% were mixed in SF? gas. As the amount of N₂ gas was increased, the properties of electro-negative plasma moved toward the electro-positive plasma.
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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