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이 논문의 연구 히스토리 (5)
2009
간섭무늬 신호 처리 및 점 노이즈 처리를 통한 백색광 간섭계의 성능 향상
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
한국통신학회 기타 간행물
2009.12
학술대회자료
가간섭 영역 외의 배경 잡음성 간섭무늬 신호 필터링을 통한 백색광 주사간섭계의 성능 향상
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
한국광학회지
2009.10
학술저널
마이크로 소자의 표면 패턴 측정을 위한 백색광 간섭계의 신호 처리 방법
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
대한전자공학회 학술대회
2009.07
학술대회자료
마이크로 소자의 표면 패턴 측정을 위한 백색광 간섭계의 신호 처리 방법
임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
대한전자공학회 학술대회
2009.07
학술대회자료
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본 논문에서는 백색광 주사 간섭계의 측정시 외부 잡음이나 진동에 의한 간섭무늬 신호 왜곡으로 인하여 높이 영상에 발생하는 점 노이즈 제거를 위해, 데이터 처리 과정에서 높이 영상에 잡음 제거 필터를 적용하여 백색광 간섭계의 잡음 제거 성능을 향상 시켰다. 백색광 간섭계의 높이 영상에 산포되어 있는 점 노이즈의 제거 방법으로 주로 사용되는 미디안(median) 필터는 점 노이즈 제거에 좋은 성능을 보이지만, 특정 경우 노이즈 제거 성능이 좋지 못하여 본 논문에서는 비교 평균 필터(Comparative Mean filter)를 제안하였다. 비교 평균 필터는 중심 화소 수치와 주변의 화소 수치를 비교하여 노이즈를 판별하고, 노이즈를 참조구간화소 수치의 평균값으로 대체하는 필터이다. 비교평균 필터는 높이영상에서 노이즈 판별을 통한 보정과정으로 인하여 복원 영상의 선명도를 유지하면서 점 노이즈 제거에 좋은 성능을 보인다. 표면이 거칠고 굴곡이 심한 시료를 측정한 결과 후처리 하지 않은 경우와 비교하여 잡음성 화소를 약 1/3로 감소시키는 성능 향상이 있었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 백색광 간섭계의 데이터 처리 과정
Ⅲ. 백색광 간섭계의 구성 및 제안된 후처리 방법
Ⅳ. 결론
감사의 글
References
참고문헌 (0)
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,
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김승우
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임해동
,
이민우
,
이승걸
외 3명
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2009
.12
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,
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,
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2009
.10
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