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저자정보
나종주 (한국기계연구원) 조정래 (한국기계연구원) 이구현 (한국기계연구원) 남기석 (한국기계연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 학술대회 제36권
발행연도
2003.6
수록면
119 - 119 (1page)

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MEMS분야 응용이나 Hard disc drive 등에서 회전체와 정지부 등에서 접촉 미끄럼 운동이 수반되는 경우, 마찰력과 마모를 낮추는 문제는 이들 마이크로 디바이스의 성능 향상과 수명 연장에 직결된다. 이러한 분야에서 인가되는 하중은 수십 mN이하로써 매우 낮다. 이같이 낮은 하중에서는 일반적인 트리보롤지 특성과 매우 다른 양상을 나타낼 수 있다. 따라서 본 연구에서는 이같이 낮은 하중에서의 마찰계수 측정을 위한 vibration 방법에 의한 마찰력 측정용 장치를 사용하였으며 실리콘 웨이퍼에 코팅 ... 전체 초록 보기

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