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The SBN thin films were deposited at substrate temperature of 300[℃] on Pt-coated electrode (Pt/Ti/SiO₂/Si(100)) using RF sputtering method. The grain and crystallinity of SBN thin films were increased with the increase of annealing temperature. The dielectr ... 전체 초록 보기
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (11)
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1. [학술지(정기간행물)] - 김진사 / 2009 / RF 스퍼터링법에 의한 SBN 박막의 표면형상 및 유전특성 / 전기전자재료학회논문지 22 (8) : 671 ~ 676
2. [학술지(정기간행물)] - 김진사 / 2009 / 증착온도에 따른 SBN 박막의 미세구조 및 특성 / 전기학회논문지ABCD 58 (3) : 544 ~ 547
3. [학술지(정기간행물)] - C Bedoya / 2002 / Magnetic- field-induced orientation in Co-doped SrBi2 Ta2O9 ferroelectric oxide / J. Phys.: Condens. Matter 14 (45) : 11849 ~ 11857
4. [학술지(정기간행물)] - Keisuke Saito / 2000 / Method of Distinguishing SrBi2 Ta2O9 Phase from Fluorite Phase Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping / Jpn.J.Appl.Phys. 39 (9B) : 5489 ~ 5495
5. [학술지(정기간행물)] - Dinghua Bao / 2002 / Ferroelectric properties of sandwich structured (Bi, La)4Ti3 O12/Pb(Zr, Ti)O3/(Bi, La)4Ti3O12 thin films on Pt/Ti/SiO2/Si substrates / J. Phys. D: Appl. Phys 35 (3) : L1 ~ L5
2. [학술지(정기간행물)] - 김진사 / 2009 / 증착온도에 따른 SBN 박막의 미세구조 및 특성 / 전기학회논문지ABCD 58 (3) : 544 ~ 547
3. [학술지(정기간행물)] - C Bedoya / 2002 / Magnetic- field-induced orientation in Co-doped SrBi2 Ta2O9 ferroelectric oxide / J. Phys.: Condens. Matter 14 (45) : 11849 ~ 11857
4. [학술지(정기간행물)] - Keisuke Saito / 2000 / Method of Distinguishing SrBi2 Ta2O9 Phase from Fluorite Phase Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping / Jpn.J.Appl.Phys. 39 (9B) : 5489 ~ 5495
5. [학술지(정기간행물)] - Dinghua Bao / 2002 / Ferroelectric properties of sandwich structured (Bi, La)4Ti3 O12/Pb(Zr, Ti)O3/(Bi, La)4Ti3O12 thin films on Pt/Ti/SiO2/Si substrates / J. Phys. D: Appl. Phys 35 (3) : L1 ~ L5
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