트랜지스터 문턱전압 측정을 통한 MOSFET 소자의 1차원 Doping Profile 측정

권석일; 최병덕; 박현호; 정한욱; 기완욱

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저자정보: 권석일 (성균관대학교) 최병덕 (성균관대학교) 박현호 (삼성전자) 정한욱 (성균관대학교) 기완욱 (성균관대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.5

수록면: 535 - 536 (2page)

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