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김형태 (한국생산기술연구원) 송근수 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 손승우 (성림피에스)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2010년도 하계학술발표대회
발행연도
2010.6
수록면
1,350 - 1,355 (6page)

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In recent semiconductor manufacturing clean rooms, the energy consumption of outdoor air conditioning systems represents about 45 % of the total air conditioning load required to maintain a clean room environment. Therefore, the performance evaluation of outdoor air conditioning systems is useful for reducing the outdoor air conditioning load for a clean room. In the present study, an experiment was conducted to compare each other the energy consumptions of steam humidification, air washer and air washer to recover heat from the exhaust air type outdoor air conditioning systems. It was shown from the lab-scale experiment with an outdoor air flow of 1,000 ㎥/h that the air washer type outdoor air conditioning system and air washer to recover heat from the exhaust air type outdoor air conditioning systemswas much more energy-efficient for the summer and winter operations than the steam humidification system.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 검토
4. 결론
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